主題：盛美上海：等離子體增強(qiáng)原子層沉積爐管設(shè)備通過初步驗(yàn)證



證券時(shí)報(bào)
盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司今日在官微宣布，其2024年推出的Ultra Fn A等離子增強(qiáng)型原子層沉積爐管設(shè)備（PEALD）已初步通過中國大陸一家半導(dǎo)體客戶的工藝驗(yàn)證，正在進(jìn)行最后優(yōu)化和為邁入量產(chǎn)做準(zhǔn)備。盛美上海還宣布，其于2022年推出的Ultra Fn A熱原子層沉積爐設(shè)備（Thermal ALD）也已成功通過另一家領(lǐng)先的中國大陸客戶的工藝驗(yàn)證，性能參數(shù)比肩同類國際競(jìng)品，甚至更勝一籌。

【免責(zé)聲明】上海大牛網(wǎng)絡(luò)科技有限公司僅合法經(jīng)營金融島網(wǎng)絡(luò)平臺(tái)，從未開展任何咨詢、委托理財(cái)業(yè)務(wù)。任何人的文章、言論僅代表其本人觀點(diǎn)，與金融島無關(guān)。金融島對(duì)任何陳述、觀點(diǎn)、判斷保持中立，不對(duì)其準(zhǔn)確性、可靠性或完整性提供任何明確或暗示的保證。股市有風(fēng)險(xiǎn)，請(qǐng)讀者僅作參考，并請(qǐng)自行承擔(dān)相應(yīng)責(zé)任。