主題：盛美上海：等離子體增強原子層沉積爐管設備通過初步驗證



證券時報
盛美半導體設備（上海）股份有限公司今日在官微宣布，其2024年推出的Ultra Fn A等離子增強型原子層沉積爐管設備（PEALD）已初步通過中國大陸一家半導體客戶的工藝驗證，正在進行最后優化和為邁入量產做準備。盛美上海還宣布，其于2022年推出的Ultra Fn A熱原子層沉積爐設備（Thermal ALD）也已成功通過另一家領先的中國大陸客戶的工藝驗證，性能參數比肩同類國際競品，甚至更勝一籌。

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